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Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80
上海伯東銷售維修德國普發(fā)渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可達(dá)到 71 l/s 高性能渦輪分子泵. HiPace 80 對所有氣體的高抽速和更高壓縮比使其廣泛應(yīng)用于真空行業(yè). 集成驅(qū)動電路, 適用于工業(yè)環(huán)境, 通過保護(hù)等級 IP54, 半導(dǎo)體 S2, UL / CSA 認(rèn)證. 通過控制器監(jiān)控運(yùn)算數(shù)據(jù)盡可能保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 80 可以任意位置安裝. 自然風(fēng)冷, 多種配件可選滿足廣泛應(yīng)用.

渦輪分子泵HiPace 80 特性
穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計和經(jīng)過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統(tǒng)
結(jié)構(gòu)緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護(hù)等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求
可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認(rèn)證

渦輪分子泵 HiPace 80 技術(shù)參數(shù)

進(jìn)氣口

DN 63

ISO-K

DN 63

CF-F

DN 40

ISO-KF

DN 63

ISO-K

DN 63

CF-F

DN 40

ISO-KF

圖片

分子泵控制器

型號

標(biāo)配
TC 110

標(biāo)配
TC 110

標(biāo)配
TC 110

選配
TCP 350

選配
TCP 350

選配
TCP 350

抽速

Ar L/S

66

66

30

66

66

30

H2L/S

48

48

38

48

48

38

He L/S

58

58

41

58

58

41

N2L/S

67

67

35

67

67

35

壓縮比

Ar

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

H2

1.4X105

1.4X105

1.4X105

1.4X105

1.4X105

1.4X105

He

1.3X107

1.3X107

1.3X107

1.3X107

1.3X107

1.3X107

N2

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

全轉(zhuǎn)速時氣體流量

Ar hPa l/s

0.54

0.54

0.54

0.54

0.54

0.54

H2 hPa l/s

15.3

15.3

15.3

15.3

15.3

15.3

He hPa l/s

2.7

2.7

2.7

2.7

2.7

2.7

N2 hPa l/s

1.3

1.3

1.3

1.3

1.3

1.3

極限壓力

hPa

＜1X10-7

＜5X10-10

＜1X10-7

＜1x10-7

＜5x10-10

＜1x10-7

最大預(yù)抽真空

N2

22

22

22

22

22

22

電壓
± 5 %

VDC

24

24

24

24

24

24

最大電流

A

4.6

4.6

4.6

5.5

4.6

4.6

轉(zhuǎn)速± 2 %

RPM

90000

90000

90000

90000

90000

90000

聲噪

dB(A)

≤48

≤48

≤48

≤48

≤48

≤48

允許最大磁場

mT

3.3

3.3

3.3

3.3

3.3

3.3

啟動時間

min

1.7

1.7

1.7

3

3

3

重量

kg

2.4

3.8

2.4

2.1

3.5

2.1

* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環(huán)境中使用

接口電纜, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m


分子泵應(yīng)用HiPace 80
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導(dǎo)體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 隔離真空, 燈管制造
研發(fā): 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術(shù), 生物技術(shù)

上海伯東客戶分子泵應(yīng)用一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要針對金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長.
伯東普發(fā)分子泵 Hipace 80
上海伯東客戶分子泵應(yīng)用二：HiPace 80, HiPace 300 用于SPECS 近常壓光電子能譜儀設(shè)備
伯東普發(fā)分子泵 Hipace 80
上海伯東客戶分子泵應(yīng)用三: HiPace 80, HiPace 300 用于自主搭建真空腔體
伯東普發(fā)分子泵 Hipace 80



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上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時間可以達(dá)到 100,000 小時! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 

若您需要進(jìn)一步的了解分子泵詳細(xì)信息, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉小姐                                  
T: +86-21-5046-3511 ext 107              
F: +86-21-5046-1490                            
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詳情：

規(guī)格參數(shù)

  • 行業(yè)分類：

    機(jī)械及行業(yè)設(shè)備/泵/真空泵

  • 產(chǎn)品類別：

    德國 Pfeiffer 真空泵

  • 品　　牌：

    Pfeiffer

  • 規(guī)格型號：

    HiPace 80

  • 庫　　存：

  • 生 產(chǎn) 商：

    Pfeiffer

  • 產(chǎn)　　地：

    中國上海市浦東新區(qū)

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