VT6000共聚焦掃描顯微鏡是中圖儀器推出的一款微觀3D測量儀器，能夠對太陽能電池片微觀結構進行三維形貌重建。具有測量精度高、全自動化、快速測量、處理數據便捷等優點。

VT6000共聚焦掃描顯微鏡太陽能電池板表面缺陷光學檢測儀器，以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。

產品功能
1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；
2)設備具備自動拼接功能，能夠快速實現大區域的拼接縫合測量；
3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件，預先設置好配置參數再進行測量，軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實現批量測量功能；
4)設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能；
5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現批量數據文件的快速分析功能；

在太陽能電池制作工程中，柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導電能力，直接影響著太陽能電池的性能。共聚焦顯微鏡可以對柵線進行快速檢測，軟件具備對視場內的柵線自動測量功能，能夠對掃描獲取的三維輪廓進行多剖面分析，計算出每個剖面的柵線高度及寬度尺寸。


此外，太陽能電池制作過程中，制絨作為關鍵核心工藝，金字塔結構的質量影響減反射陷光效果，是光電轉換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級別的縱向分辨能力，能夠對電池板絨面這種表面反射率低且形貌復雜的樣品進行三維形貌重建，并由專用分析模塊自動獲取絨面上每個金字塔的體積，比表面積等信息，計算出單位面積金字塔數量和不同尺寸金字塔的比例。

共聚焦顯微鏡是一款可以為太陽能行業實驗室和生產過程檢測需求服務的高性能檢測設備，提供從二維到三維的多尺度檢測手段，將會在太陽能電池加工過程中發揮越來越重要的作用。

VT6000共聚焦掃描顯微鏡廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中，對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。