美國Keithley吉時利4200A半導體參數(shù)分析儀

200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成 的參數(shù)分析儀，可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V) 和超快速脈沖式I-V 特性。作為性能最高的參數(shù)分析儀， 4200A-SCS 加快了半導體、材料和工藝開發(fā)速度。

4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不 扣的測量和分析功能。憑借嵌入式測量專業(yè)知識和數(shù)百項隨時 可以投入使用的應用測試，Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究過程，快速而又滿懷信心。

4200A-SCS 參數(shù)分析儀可以根據(jù)不同用戶需求進行靈活配 置，不管是現(xiàn)在還是未來，都可以隨時對系統(tǒng)進行升級。通過 4200A-SCS 參數(shù)分析儀，通往發(fā)現(xiàn)之路現(xiàn)在變得異常簡便。

主要性能指標
I-V 源測量單元(SMU)
± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
100 fA測量分辨率
選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率
10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量
100 μF負載電容
四象限操作
2 線或 4 線連接
C-V 多頻率電容單元(CVU)
AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)
1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源，可以擴展到± 210 V(420 V 差分)
選配 CVIV 多通道開關，在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)
兩個獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道
200 MSa/s，5 ns 采樣率
±40 V (80 V p-p)，±800 mA
瞬態(tài)波形捕獲模式
任意波形發(fā)生器 Segment ARB? 模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率
高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)
兩個高速脈沖電壓源通道
±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
任意波形發(fā)生器 Segment ARB?模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關模塊 (CVIV)
在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換，無需重新布線或抬起探針
把 C-V測量移動到任意端子，無需重新布線或抬起探針遠程前端放大器/ 開關模塊(RPM)
在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換
把 4225-PMU的電流靈敏度擴展到數(shù)十皮安