光馳OTFC-1550型23寸射頻源真空鍍膜機是面向光學(xué)薄膜制造的高端設(shè)備，其技術(shù)參數(shù)、應(yīng)用領(lǐng)域及流通情況如下：

 ?一、核心配置? ?真空系統(tǒng)? 真空室尺寸為Ф1550×1800mm，采用SUS304不銹鋼材質(zhì)，具備高耐腐蝕性和密封性。工件架直徑Ф1400mm，轉(zhuǎn)速10-30rpm可調(diào)，支持行星式或鐘罩式運行模式。排氣系統(tǒng)由機械泵（275/SV630型號）+羅茨泵（愛德華品牌）+擴散泵+低溫冷凝器（POLYCOLD）組成，極限真空度≤7.0×10??Pa，抽氣至工作真空僅需15分鐘。 ?射頻離子源? 搭載23寸射頻離子源（RF離子源），通過高密度離子電流提升膜層致密性和耐磨性（通過4萬次摩擦試驗驗證），適用于AR/AF膜及高反射膜制備。 ?蒸發(fā)系統(tǒng)? 配備雙電子槍（16F/16P型號）及12穴環(huán)形坩堝，支持100層以上復(fù)雜鍍膜結(jié)構(gòu)，兼容熱阻蒸和電子束蒸發(fā)工藝12。 ?監(jiān)控系統(tǒng)? 集成HOM2R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀（波長范圍350-1100nm），搭配XTC/3控制系統(tǒng)及6點式水晶傳感器，實現(xiàn)納米級鍍膜精度。

 ?二、應(yīng)用領(lǐng)域? ?光學(xué)器件?：紅外截止濾光片、分色濾光片等多層光學(xué)薄膜制備。 ?電子與顯示?：智能手機觸摸屏防污膜（AS膜）及防反射膜（AF+AS膜）批量生產(chǎn)。 ?精密鍍膜?：支持陶瓷、金屬基板和塑膠基材的高反射膜、介質(zhì)膜等復(fù)雜結(jié)構(gòu)鍍膜。

 ?三、設(shè)備參數(shù)? ?電源需求?：3相200V，50/60Hz，功率約80-120KVA。 ?能耗配置?：水流量≥180升/分，空氣壓力≥0.5MPa。 ?尺寸與重量?：設(shè)備尺寸約6300×9000×4000mm，重量11000-12000kg。 ?四、技術(shù)優(yōu)勢? ?耐摩擦性能?：通過4萬次摩擦試驗驗證，膜層結(jié)合力與耐久性優(yōu)異。 ?自動化控制?：支持全自動蒸鍍流程，含在線阻針檢測功能，提升量產(chǎn)穩(wěn)定性.