東莞市準納光電科技有限公司
賣家服務時間
9:00--17:00
工廠轉讓一臺光馳otfc-1800/1550真空鍍膜機
銷售技術楊經理:18103045976
石英晶振膜厚計XTC/3+6點式石英晶體傳感器
蒸發源電子槍2套
離子源23cmRF離子源
排氣系統機械泵+2個擴散泵+Polycold(或2個冷凝泵)
機械性能:
達到壓力7.0×10-5Pa 以下
排氣時間20分(大氣壓~1.3×10-3Pa)
基板溫度最高:350℃
設備尺寸約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
工作條件:
電源3相, 200V, 50/60Hz, 約150kVA
水流量180升/分以上
空氣壓力0.5MPa以上
重量約11200kg
機械特點:
真空室尺寸:Φ600-1800mm
60點/80點式光學膜厚監控
使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
搭載雙電子槍,多點和環型坩堝可鍍100層以上
利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程
工件架可選擇鐘罩式或行星式
排氣系統可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
規格參數
行業分類:
機械及行業設備/其他行業專用設備/鍍膜機
產品類別:
品 牌:
光馳
規格型號:
otfc-1800
庫 存:
2
生 產 商:
光馳
產 地:
中國江蘇省蘇州市
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