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聯系方式

賣家服務時間

9:00--17:00

系統構成

基片傘架

球狀傘架(Φ718、Φ950、Φ1200、Φ1400、Φ1700)、錐形傘架、平板夾具、反轉夾具

光學式膜厚計

OPM-Z1

水晶式膜厚計

XTC/3S、IC/6

電腦系統

SDC-I

蒸發源

電子槍方式、電阻加熱方式

坩堝

φ35/φ40坩堝

離子源

NIS-175、NIS-120、離子束輔助鍍膜、離子束清洗

設備性能

排氣時間

達到2×10-3Pa不超過10分鐘(基片溫度設定為300℃)

極限真空壓

不超過5×10-5Pa

基片加熱溫度

常用250℃

膜厚分布

Δnd<±1.0%(按本公司標準發貨基準)

安裝條件(例)

ACE-1350S

所需電力

三相 200V±10% 約70kW(最大電力)

所需冷卻水

約72L/min、18?25℃(標準20℃)

所需壓縮空氣

不低于0.5MPaG(最高0.7MPaG)

安裝面積

W5150mm×D7000mm×H3150mm,頂棚高度不低于3500mm

總重量

約7600kg



詳情:

規格參數

  • 行業分類:

    機械及行業設備/其他行業專用設備/鍍膜機

  • 產品類別:

  • 品  牌:

    南光

  • 規格型號:

    1100

  • 庫  存:

    2

  • 生 產 商:

    南光

  • 產  地:

    中國江蘇省蘇州市

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