東莞市準(zhǔn)納光電科技有限公司
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9:00--17:00
價(jià)格:
行業(yè)分類:機(jī)械及行業(yè)設(shè)備/其他行業(yè)專用設(shè)備/鍍膜機(jī)
產(chǎn)品類別:
品 牌:光弛
規(guī)格型號(hào):otfc-1800
庫(kù) 存:3
生 產(chǎn) 商:光弛
產(chǎn) 地:中國(guó)廣東省東莞市
1:特征
真空室尺寸:Φ600-1800mm60點(diǎn)/80點(diǎn)式光學(xué)膜厚監(jiān)控使用均勻分布的高離子電流密度的離子源搭載雙電子槍,多點(diǎn)和環(huán)型坩堝可鍍100層以上利用自動(dòng)蒸鍍控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸鍍過(guò)程工件架可選擇鐘罩式或行星式排氣系統(tǒng)可選擇擴(kuò)散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵規(guī)格設(shè)備名稱
(銷售技術(shù)楊經(jīng)理181-030-45976)
2:規(guī)格
OTFC-1300CBI/DBI真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)工件架φ1130mm工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 50rpm(可變)光學(xué)膜厚控制HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀
波長(zhǎng)范圍:350nm to 1100nm
反射式/透射式水晶式膜厚計(jì)XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器蒸發(fā)源電子槍2套離子源17cmRF離子源排氣系統(tǒng)機(jī)械泵+2個(gè)擴(kuò)散泵+Polycold(或2個(gè)冷凝泵)
3:性能
達(dá)到壓力7.0×10-5 Pa 以下排氣時(shí)間15分(大氣壓~1.3×10-3 Pa)基板溫度最高:350℃工作條件設(shè)備尺寸約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)電源3相,200v,50/60Hz, 約104KVA水流量140升/分以上空氣壓力0.5MPa以上重量約8500kg
規(guī)格參數(shù)
行業(yè)分類:
機(jī)械及行業(yè)設(shè)備/其他行業(yè)專用設(shè)備/鍍膜機(jī)
產(chǎn)品類別:
品 牌:
光弛
規(guī)格型號(hào):
otfc-1800
庫(kù) 存:
3
生 產(chǎn) 商:
光弛
產(chǎn) 地:
中國(guó)廣東省東莞市
快速創(chuàng)建集企業(yè)介紹、產(chǎn)品服務(wù)、直播等一體的個(gè)性旺鋪
升級(jí)成企業(yè)號(hào)幫助企業(yè)搭建社交移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)智能營(yíng)銷平臺(tái)
自助開(kāi)通商城,將智能營(yíng)銷平臺(tái)、直播系統(tǒng)流量轉(zhuǎn)化成交