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半導體特氣應用于晶圓制造的各個環節;

狹義的“電子氣體”特指電子半導體行業用的特種氣體,主要應用于前端晶圓制造中的化學氣相沉積、光刻、刻蝕、摻雜等諸多環節;

電子特種氣體的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性,對于半導體集成電路芯片的質量和性能具有重要意義。

由于半導體集成電路芯片更高性能、更高集成度發展,科技對電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的凈化愈加關鍵和重要。

電子氣體品種多,純化方法一般多采用吸附(常溫、低溫)、精餾(古間歇精餾)、催化等方法。

現已有分析法:吸收法(鼓泡法)

我們可以配套產品:PFA吸收瓶/PFA洗氣瓶 *(各種樣式尺寸均可定制加工)


詳情:

規格參數

  • 行業分類:

    儀器儀表/儀器儀表配附件/其他儀器儀表配附件

  • 產品類別:

  • 品  牌:

    南京瑞尼克

  • 規格型號:

    RNKG

  • 庫  存:

  • 生 產 商:

    南京瑞尼克

  • 產  地:

    中國江蘇省南京市

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