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陶瓷真空吸盤是由多孔陶瓷材料制作,孔徑分布均勻,內部相互貫通,表面經研磨后,光滑細膩,平整性好,廣泛應用于硅、藍寶石、砷化鎵等半導體晶圓的制造環節。

①結構致密均勻,采用微孔陶瓷材料結構致密均勻,不易吸附硅粉磨屑,吸盤易于清洗;

②強度高,耐磨耗佳,具有陶瓷堅硬特性,耐損耗、不易刮傷損壞,在磨削時無形變,保證硅片在磨削時各點受力均勻,不易產生崩邊、碎片等現象;

③壽命長,表面形狀保持性好,修整周期長且修整量小,因此有很高的壽命;

④絕緣性高,絕緣性材質,消除靜電。

⑤可重復使用,易修整,修整時不會出現破裂、碎塊、脫粒等現象,經過修整研磨后,一定程度內可反復使用。

⑥不易分解及發塵,陶瓷屬于完全燒結、結構堅固穩定、不發塵。

⑦輕量化,輕質材料且內部結構為均勻氣孔,重量極輕;

⑧化學穩定性好, 通過材質的選擇和工藝控制, 可制成適用于各種腐蝕環境的多孔陶瓷吸盤。

陶瓷真空吸盤是半導體晶圓生產中夾持和承載的工具,具有平面度、平行度高,組織致密均勻,強度高,透氣性好,吸附力均勻,易于修整等特點,適用于半導體晶圓制造的減薄、切割、研磨、清潔和處理等工序,有效解決了晶圓印痕、芯片靜電擊穿、Particle污染等諸多難題,在實際應用中實現了半導體晶圓片極高的加工品質。


詳情:

規格參數

  • 行業分類:

    機械及行業設備/過濾材料/濾片

  • 產品類別:

  • 品  牌:

  • 規格型號:

    60

  • 庫  存:

    10

  • 生 產 商:

  • 產  地:

    中國江西省萍鄉市

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