儀器簡介：

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應儀是根據我公司的控制技術并按照高校廣大師生需求設計的產品，此AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應儀主要特點是控溫無誤、7寸顯示屏顯示、觸摸控制、操作簡單方便，可以存儲數據。AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應儀具有強大的數字處理功能，實時在線顯示和記錄反應數據和曲線圖像，程序控制反應條件，可將實驗分為多個工作階段，可隨時在線修改不適宜反應條件參數，具有保存和查詢實驗記錄的功能。

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應儀作用原理是在化學氣相沉積（CVD）基礎上利用微波輻射，產生等離子體。在微波等離子化學氣相沉積（MPCVD）的技術下，石墨烯通常以薄膜形式沉積在襯底表面。其中高溫的襯底相當于催化劑，能提高分解率。

應用領域：

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應儀適用于制備石墨烯材料、SiOx、TiN、TiCN、金剛石涂層等。在金屬、玻璃、聚合物以及其他材料表面沉積有機或無機薄膜來保護其他表面不被腐蝕或改變其表面硬度、增強耐磨性能等。

AL-SMGG20型 小型微波石墨烯氣相反應儀能催化完成微波等離子體相關應用，包括但不限于以下方面：

1、半導體加工：在半導體的蝕刻、濺射、氣相沉積、氧化硅片等生產工藝中使用微波等離子體技術。

2、表面處理：應用于金屬、合金、非金屬的表面處理，如金屬表面的清洗和強化。

3、有害氣體排放控制：通過微波等離子體技術減少有害氣體的排放。

4、等離子體光譜分析：可以用于檢測多種元素，并用于分解有毒化合物。

5、食品加工：在食品干燥、殺菌、熟成、烘焙食品、脫腥、彭化和冷藏等方面也有應用。

技術參數：

1、微波頻率：2450MHz；

*2、功率:0-2000W，功率自由設置，微波功率隨溫度自動變頻控制，非脈沖連續加熱。

*3、功率上限隨意設置，并且具有設置功率下限功能，保證一直有功率輸出。

*4、控溫方式3種，分別是以設置的上限功率加熱到設定溫度然后保溫模式、初始溫度經過設置的時間到達設定溫度從而達到緩慢升溫效果的速率升溫模式、設置每分鐘升溫溫度度數的升溫斜率模式。

*5、測溫和控溫范圍:0～1200℃；具有速率升溫功能。

6、測溫精度:≤±0.2℃ 控溫精度:≤±1℃；

7、30升316L奧氏體不銹鋼腔體，表面耐腐蝕、耐高溫性強；

8、高精度非接觸式紅外溫度傳感器，實時監測反應溫度，準確控制反應進程；

*9、具有磁控管保護器，可連續不間斷持續工作。

*10、7英寸高亮度TFT液晶顯示觸摸屏直接操作，Cortex-A8 CPU核心，配備USB接口；實時顯示反應溫度和功率數據，并顯示曲線，可以保存和查詢實驗記錄；

*11、采用無誤AI人工智慧邏輯算法 ，實現復雜長滯后對象無誤控制，保證控溫無誤，杜絕出現超溫、低溫等現象；

*12、反應腔體為石英腔體，反應區尺寸：Φ200*300 mm ；

13、配備氣氛接口5路（可根據客戶需求定制）；

14、可以進行氣氛、真空以及微正壓環境下反應實驗；

15、微波泄漏符合國家標準。

*表示我公司優勢技術。