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設備簡介

本方案為廣州威彩電子自動化出產且針對TFT-LCD 面板設計之鐳射修補系統。本設備搭載威彩自研發控制系統(含Laser Head、Laser Controller)、先進的光束傳輸系統,實現精細微小光斑、保證微觀水平上精確切割,提供精確的功率控制波長;采用日本原裝MITUTOYO精密光學影像系統、搭載鐳射加工專用光學物鏡、影像觀測物鏡、伺服驅動電控系統、定制懸浮氣壓制震系統、精密鋼構底座等所組成。系統由包含Nd-YAG脈沖固體激光器的激光頭,包含水冷電源和控制電子的主單元組成。激光器主要產生1064nm近紅外光,但是具有使其通過角度調諧KTP晶體和濾光輪以產生和選擇532nm(調整光)的附加諧波的機制。本設備可針對工件特定材質層進行短路線條切割處理,加工件為采用人工模式取放。

產品應用

主要用于切割和修剪硅基半導體電路的微米大小的部件,尤其是鈍化層(氧化硅/氮化物)和金屬互連(通常是鋁)。可以針對目標材料調整激光脈沖能量和波長。


詳情:

規格參數

  • 行業分類:

    機械及行業設備/電子產品制造設備/邦定機

  • 產品類別:

  • 品  牌:

    威彩

  • 規格型號:

    CR-512D

  • 庫  存:

  • 生 產 商:

  • 產  地:

    中國廣東省廣州市

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